Die BXC-Serie bietet hochwertige Mikroskopkomponenten, die Variationen unterdrücken und eine stabile Bildqualität gewährleisten. Diese kompakten Mikroskop-Einheiten können mit einer Vielzahl von Optionen schnell und einfach in jedes System integriert werden. Bitte laden Sie die für die Geräteintegration erforderlichen Informationen von unserem BXC Series Resource Center herunter.
Leistungsstarke Objektive
Mit hoher numerischer Apertur und großem Arbeitsabstand
Objektive bestimmen maßgeblich die Leistung eines Mikroskops. Die MXPLFLN-Objektive erweitern die MPLFLN-Serie für die Bildgebung mit EPI-Beleuchtung, da sie gleichzeitig die numerische Apertur und den Arbeitsabstand maximieren. Höhere Auflösungen bei 20- und 50-facher Vergrößerung bedeuten normalerweise kürzere Arbeitsabstände, sodass die Probe oder das Objektiv beim Objektivwechsel zurückgefahren werden müssen.
In vielen Fällen ist ein Arbeitsabstand von 3 mm der MXPLFLN-Serie die Lösung für dieses Problem: Die Untersuchungen können schneller durchgeführt werden und es besteht ein geringes Risiko, dass das Objektiv die Probe berührt.
Die Bildplanität der MPLFLN 2,5X-, 5X- und 5X- Hellfeld-/Dunkelfeld-Objektive wurde verbessert, sodass Bilder bei niedrigen Vergrößerungen schneller zusammengesetzt werden können. Für einen höheren Durchsatz bei der Dunkelfeldmikroskopie wurde ein 2,5X-Hellfeld-/Dunkelfeld-Objektiv eingeführt: das MPLFLN2.5XBD.
Großer Spektralbereich
Vom sichtbaren Spektrum bis zum Nahinfrarotbereich (NIR) bietet unsere erweiterte optische Fertigung und Beschichtungstechnologie Anwendern und Herstellern viele Objektiv- und Tubuslinsenkombinationen für vereinfachte Systemanforderungen mit Standardprodukten.
Transmissionskurven von drei verfügbaren Objektiven
Wellenfront-Aberrationsteuerung
Für die Objektive der MXPLFLN-Serie werden High-End-Fertigungsverfahren eingesetzt, wie z. B. die Wellenfront-aberrationsgesteuerte Auswahl der Objektiveinheiten. Durch dieses Verfahren werden Variationen der Geräteleistung auf ein Minimum reduziert.
Für das optimale Bild
Es stehen fünf Tubuslinsen für eine Vielzahl von Anwendungen zur Verfügung.
Als Teil unserer BX™ Mikroskopserie bietet die BXC-Serie eine breite Palette von Optionen für jedes Teil, einschließlich Objektiv, Objektivrevolver und Beleuchtungen. Die Serie ist so konzipiert, dass die Komponenten je nach Anwendungsfall frei kombiniert werden können. Dank ihrer Vielseitigkeit und Modularität sind sie eine gute Wahl für Prüf- oder Bildgebungsanwendungen, wie z. B. für Geräte zur Waferausrichtung,
Bump-Höhenmessung und das Zusammenfügen von Bildern.
Konfigurationsbeispiele der BXC-Serie
BX53M
BXC-CBRML-System
BXC-CBB-System
Herkömmliches Mikroskop
Einstiegsmodell
Mehr Platz durchein HF-Objektiv
Vielseitiges Modell
Einfache und kompakte Einheiten
Erweitertes Modell
Komplett motorgesteuerte Einheitenfür Reinräume
Erweiterte Optionen für die Produktentwicklung und Automatisierung
Vielseitiges gerichtetes Dunkelfeld
Dunkelfeld wird verwendet, um gestreutes oder gebeugtes Licht von einer Probe (durch Kratzer oder Fehler) auf einer reflektierenden Oberfläche oder einem Halbleiter-Wafer zu beobachten. Der MIX-Schieberegler ermöglicht Dunkelfeldbetrachtungen ohne große Spezialoptiken und erweitert das herkömmliche Dunkelfeld durch 16 einzeln steuerbare LEDs, mit denen die Richtung des Lichts, das auf die Probe fällt, gesteuert werden kann. Zudem kann diese gerichtete
Dunkelfeldtechnik, die durch Verwendung des MIX-Schiebereglers erreicht wird, zur Betrachtung mit Hellfeld, einfach polarisiertem Licht oder Fluoreszenz kombiniert werden.
MIX-Schieberegler (Oberseite)
U-MIXR-2
MIX-Schieberegler (Unterseite)
U-MIXR-2
Dunkelfeld
MIX mit Hellfeld
Große Auswahl an Objektivrevolvern
Mit zunehmender Automatisierung wächst auch die Nachfrage nach motorgesteuerten Objektivrevolvern. Die leistungsfähigen motorgesteuerten U-D5BDREMC und U-D6BDREMC Objektivrevolver von Evident mit fünf und sechs Positionen haben sich bewährt. Der für Reinräume der Klasse 1 geeignete motorgesteuerte U-D5BDREMC-VA Objektivrevolver entfernt Staub und andere Partikel unter Verwendung eines Vakuums. BXC-Einheiten können mit einem
manuellen, codierten und zentrierbaren Objektivrevolver sowie mit Adaptern für ein Objektiv versehen werden.
Motorgesteuerter U-D5BDREMC-VA BD-Objektivrevolver mit Vakuumfunktion
STM7-MMOBAD Messobjektiv-Adapter
Autofokus-Sensoreinheit
Die BXC-FSU Einheit ist ein Laserprodukt der Klasse 1 * und ermöglicht eine aktive Mehrpunkt-Erkennung zur Überwachung der Richtung der Fokusposition und des Fokusstatus. Dieser Sensor eignet sich für kontrastarme Proben, wie unstrukturierte Wafer. Ein einzigartiger Algorithmus liefert ein stabiles Fokussignal, unabhängig von der Vergrößerung des Objektivs und dem Rauschen, das durch peripheres Licht verursacht wird.
Das Befehlsreferenzhandbuch, das Benutzerhandbuch und die Probensoftware sind auf unserer Website verfügbar* 2
1Der Laser der Klasse 1 ist eingehaust, sodass keine zusätzlichen Sicherheitsmaßnahmen erforderlich sind.
2 Anwendungshandbücher sind auf Anfrage erhältlich.
BXC-FSU Autofokus-Sensoreinheit
Kompakte Steuereinheit
Die BXC-CBRML und BXC-CBB Steuereinheit zeichnen sich durch ein kleine Stellfläche, Fehlen eines Lüfters und variable Montagemöglichkeiten (z. B. Wand oder Decke) aus. Je nach Steuereinheit können Funktionen, wie MIX-Schieberegler, Beleuchtung, motorgesteuerter Objektivrevolver und LED-Lichtquelle, integriert und über die Software gesteuert werden.
Mehr erfahren
Wir bieten eine ganze Reihe von Ressourcen zur Unterstützung unserer OEM-Kunden. Klicken Sie hier, um unsere OEM-Ressourcenseite zu besuchen. Dort finden Sie Broschüren, Handbücher, Software-Downloadsund andere hilfreiche Inhalte.
BXC-CBRML Steuergerät
Wandschaltkasten
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